東京威力科創 / 東京電子(Tokyo Electron)為了追趕泛林集團(Lam Research)，成功開發出可生產 400 層 3D NAND 閃存的設備，預估該技術可以為公司帶來數十億美元的凈收入。
生產 3D NAND 需要專門的設備，目前主要由美國公司泛林集團控制。今年6月曾有報道稱，東京電子開發出全新蝕刻技術，首次將電蝕刻應用帶入到低溫范圍中，并創造性地發明了具有極高蝕刻速率的系統。
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