三星電子正在研發「智能傳感器系統」，以提高半導體良率和產能。關鍵在于精確控制生產過程中的等離子體均勻性和密度，該系統可測量晶圓等離子體均勻性，準確管理蝕刻、沉積和清洗工藝性能。

　　此舉有望緩解對外國傳感器的依賴，并提高產量。開發的智能傳感器為超小型，不影響現有設備空間，可在提高空間利用率的同時提高產能。未來，三星計劃擴大智能傳感器應用范圍，開發可用于各種半導體工藝的 SMART 傳感器和系統。